1. Прахови частици отстраняване в чиста стая без прах
Основната функция на чистото помещение е да се контролира чистотата, температурата и влажността на атмосферата, на която продуктите (като силициеви чипове и т.н.) са изложени, така че продуктите да могат да се произвеждат и произвеждат в добро пространство на околната среда. Ние наричаме това пространство като чиста стая. Според международната практика нивото на чистота се определя главно от броя на частиците на кубичен метър въздух с диаметър, по -голям от стандарта за класификация. С други думи, така нареченият без прах не е 100% без прах, а се контролира в много малък блок. Разбира се, частиците, които отговарят на стандарта за прах в този стандарт, вече са много малки в сравнение с обикновения прах, който виждаме, но за оптични структури дори малко прах ще има много голямо отрицателно въздействие, така че без прах е неизбежно изискване при производството на продукти на оптична структура.
Контролът на броя на праховите частици с размер на частиците, по-голям или равен на 0,5 микрона на кубичен метър до по-малко от 3520/кубически метър, ще достигне клас А на Международния стандарт без прах. Стандартът без прах, използван при производството и преработката на ниво CHIP, има по-високи изисквания за прах от клас А, а такъв висок стандарт се използва главно при производството на някои чипове от по-високо ниво. Броят на праховите частици е строго контролиран при 35 200 на кубичен метър, който обикновено е известен като клас Б в индустрията за чисти помещения.
2. Три вида чисти състояния в стаята
Празна чиста стая: Чистото помещение, което е построено и може да се използва в употреба. Той има всички подходящи услуги и функции. В съоръжението обаче няма оборудване, управлявано от операторите.
Статично чисто помещение: Чистото помещение с пълни функции, правилни настройки и инсталация, които могат да се използват според настройките или се използват, но в съоръжението няма оператори.
Динамична чиста стая: чиста стая при нормална употреба, с пълни функции за обслужване, оборудване и персонал; Ако е необходимо, може да се извърши нормална работа.
3. Контролни елементи
(1). Може да премахне праховите частици, плаващи във въздуха.
(2). Може да предотврати генерирането на прахови частици.
(3). Контрол на температурата и влажността.
(4). Регулиране на налягането.
(5). Елиминиране на вредни газове.
(6). Въздушна стегнатост на конструкциите и отделенията.
(7). Предотвратяване на статично електричество.
(8). Предотвратяване на електромагнитни смущения.
(9). Разглеждане на факторите за безопасност.
(10). Разглеждане на спестяването на енергия.
4. Класификация
Турбулентен тип поток
Въздухът влиза в чистата стая от климатичната кутия през въздушния канал и въздушния филтър (HEPA) в чиста стая и се връща от стенните панели на преградата или повдигнати подове от двете страни на чистата стая. Въздушният поток не се движи по линеен начин, но представя неправилно турбулентно или вихрово състояние. Този тип е подходящ за чисто помещение от 1 000-100 000 клас.
Определение: Чиста стая, в която въздушният поток тече с неравномерна скорост и не е успоредно, придружена от обратен поток или вихрово ток.
Принцип: Турбулентните чисти помещения разчитат на въздушния поток, за да се разреждат непрекъснато на закрития въздух и постепенно да разреждат замърсения въздух за постигане на чистота (турбулентните чисти помещения обикновено са проектирани при нива на чистота над 1000 до 300 000).
Характеристики: Турбулентните чисти помещения разчитат на множество вентилации за постигане на нива на чистота и чистота. Броят на промените в вентилацията определя нивото на пречистване в дефиницията (колкото повече се променя вентилацията, толкова по -голямо е нивото на чистота)
(1) Време за самоочистване: Отнася се до времето, когато чистата стая започне да доставя въздух в чистата стая според проектирания номер на вентилацията, а концентрацията на прах в стаята достига до проектираното чистота на нивото 1000, клас 1000, се очаква да не е повече От 20 минути (15 минути могат да се използват за изчисляване) Клас 10 000 се очаква да бъдат не повече от 30 минути (25 минути могат да се използват за изчисление) клас 100 000 се очаква да бъде не повече от 40 минути (30 минути могат да се използват за Изчисление)
(2) Честота на вентилация (проектирана съгласно горните изисквания за самопочистване на времето) Клас 1000: 43.5-55.3 пъти/час (стандарт: 50 пъти/час) Клас 10 000: 23,8-28,6 пъти/час (стандарт: 25 пъти/час ) Клас 100 000: 14,4-19,2 пъти/час (стандарт: 15 пъти/час)
Предимства: Проста структура, ниски разходи за изграждане на системата, лесна за разширяване на чистото помещение, на някои места със специално предназначение чистата пейка без прах може да се използва за подобряване на чистата степен на стаята.
Недостатъци: Прахови частици, причинени от турбулентност поплавък в закрито пространство и е трудно да се изхвърлят, което лесно може да замърси продуктите на процеса. Освен това, ако системата е спряна и след това се активира, често отнема много време, за да се постигне необходимата чистота.
Ламинарен поток
Въздухът на ламинарен поток се движи в еднаква права линия. Въздухът влиза в стаята през филтър със 100% скорост на покритие и се връща през повдигнатия под или преградните дъски от двете страни. Този тип е подходящ за използване в чисти помещения с по -високи степени на чисти стаи, обикновено клас 1 ~ 100. Има два вида:
(1) Хоризонтален ламинарен поток: Хоризонталният въздух се издухва от филтъра в една посока и се връща от системата за връщане на въздуха на противоположната стена. Прахът се изхвърля на открито с посока на въздуха. Като цяло замърсяването е по -сериозно от страната надолу по веригата.
Предимства: Простата структура, може да стане стабилна за кратко време след работата.
Недостатъци: разходите за строителство са по -високи от турбулентния поток, а вътрешното пространство не е лесно да се разшири.
(2) Вертикален ламинарен поток: Таванът на стаята е напълно покрит с ULPA филтри и въздухът се издухва отгоре надолу, което може да постигне по -висока чистота. Прахът, генериран по време на процеса или от персонала, може бързо да бъде изхвърлен на открито, без да засяга други работни зони.
Предимства: Лесно за управление, стабилно състояние може да бъде постигнато за кратко време след стартирането на операцията и не лесно да се повлияе от оперативното състояние или операторите.
Недостатъци: Високи разходи за строителство, трудни за гъвкаво използване на пространството, закачалките за таван заемат много място и са проблемни за ремонт и подмяна на филтри.
Композитен тип
Композитният тип е заедно да комбинирате или използвате турбулентен тип поток и тип ламинарен поток, който може да осигури локален ултра-чист въздух.
(1) Почистете тунела: Използвайте HEPA или ULPA филтри, за да покриете 100% от процесната зона или работна зона, за да увеличите нивото на чистота до над клас 10, което може да спести инсталационните и експлоатационните разходи.
Този тип изисква работната зона на оператора да бъде изолирана от поддръжката на продукта и машината, за да се избегне влияние върху работата и качеството по време на поддръжката на машината.
Чистите тунели имат две други предимства: А. Лесно за разширяване гъвкаво; Б. Поддръжката на оборудването може лесно да се извърши в зоната за поддръжка.
(2) Чиста тръба: заобикаляйте и пречиствайте автоматичната производствена линия, през която преминава потокът на продукта, и увеличете нивото на чистота до над клас 100. Тъй Подаването на въздух може да постигне добра чистота, което може да спести енергия и е най -подходящо за автоматизирани производствени линии, които не изискват ръчен труд. Той е приложим за фармацевтичната, хранителната и полупроводниковата индустрия.
(3) Чисто място: Нивото на чистота на зоната на продуктовия процес в турбулентното чисто помещение с чисто ниво на помещение от 10 000 ~ 100 000 е увеличено до 10 ~ 1000 или повече за производствени цели; Чистите работни съдове, чисти навеси, сглобяеми чисти помещения и чисти гардероби принадлежат към тази категория.
Чиста пейка: клас 1 ~ 100.
Чиста кабина: Малко пространство, заобиколено от антистатична прозрачна пластмасова кърпа в бурно чисто пространство в стаята, използвайки независима HEPA или ULPA и климатични единици, за да се превърнат в чисто пространство от по-високо ниво, с ниво 10 ~ 1000, височина около около 2,5 метра и площ на покритие около 10 м2 или по -малко. Той има четири стълба и е оборудван с подвижни колела за гъвкава употреба.
5. Поток на въздушния поток
Значение на въздушния поток
Чистотата на чиста стая често се влияе от въздушния поток. С други думи, движението и дифузията на праха, генерирани от хора, машинни отделения, строителни конструкции и др. Се контролират от въздушния поток.
Чистата стая използва HEPA и ULPA за филтриране на въздуха, а скоростта на събиране на прах е до 99,97 ~ 99,99995%, така че въздухът, филтриран от този филтър, може да се каже, че е много чист. В допълнение към хората обаче има и източници на прах като машини в чистата стая. След като тези генерирани праха се разпространяват, е невъзможно да се поддържа чисто пространство, така че трябва да се използва въздушен поток за бързо изхвърляне на генерирания прах на открито.
Влияещи на фактори
Има много фактори, които влияят на въздушния поток на чиста стая, като процесно оборудване, персонал, чисти материали за сглобяване на помещения, осветителни тела и др. В същото време трябва да се вземе и точката на отклонение на въздушния поток над производственото оборудване също трябва разглеждане.
Точката на отклоняване на въздушния поток на повърхността на обща работна маса или производствено оборудване трябва да бъде поставена на 2/3 от разстоянието между чистото пространство в помещението и платката. По този начин, когато операторът работи, въздушният поток може да тече от вътрешната страна на обработващата зона до работната зона и да отнеме праха; Ако точката на отклонение е конфигурирана пред областта на процеса, тя ще се превърне в неправилно отклоняване на въздушния поток. По това време по -голямата част от въздушния поток ще тече в задната част на областта на процеса, а прахът, причинен от операцията на оператора, ще бъде пренесен в задната част на оборудването, а работната маса ще бъде замърсена, а добивът неизбежно ще намалее.
Препятствия като работни маси в чисти помещения ще имат вихрови течения на кръстовището, а чистотата в близост до тях ще бъде сравнително лоша. Пробиването на отвор за възвръщаемост на работната маса ще сведе до минимум феномена на вихровия ток; Дали изборът на монтажни материали е подходящ и дали оформлението на оборудването е перфектно също са важни фактори за това дали въздушният поток се превръща в явление на вихровия ток.
6. Състав на чиста стая
Съставът на чистата стая е съставен от следните системи (нито една от които не е необходима в системните молекули), в противен случай няма да е възможно да се образува пълно и висококачествено чисто помещение:
(1) Система на тавана: Включително прът на тавана, I-лъч или U-лъч, решетка на тавана или тавана.
(2) Система за климатизация: включително въздушна кабина, филтърна система, вятърна мелница и др.
(3) Стерна стена: включително прозорци и врати.
(4) под: включително повдигнат под или антистатичен под.
(5) Осветителни тела: LED пречистване плоска лампа.
Основната конструкция на чистата стая обикновено е изработена от стоманени пръти или костен цимент, но без значение каква структура е тя, тя трябва да отговаря на следните условия:
А. Няма да се появяват пукнатини поради температурни промени и вибрации;
Б. Не е лесно да се получат прахови частици и е трудно да се прикрепят частиците;
В. ниска хигроскопичност;
Г. За да се поддържат условията на влажност в чистото помещение, топлинната изолация трябва да е висока;
7. Класификация по употреба
Индустриална чиста стая
Контролът на неодушевените частици е обектът. Той контролира главно замърсяването на частиците на въздушния прах към работния обект и интериорът обикновено поддържа състояние на положително налягане. Той е подходящ за прецизна индустрия за машини, електроника (полупроводници, интегрални схеми и др.), Аерокосмическа промишленост, химическа индустрия с висока чистота, индустрия за атомна енергия, оптична и магнитна продуктова индустрия (CD, филм, производство на ленти) LCD (течен кристал Стъкло), Компютърен твърд диск, производство на глава на компютър и други индустрии.
Биологична чиста стая
Главно контролира замърсяването на живите частици (бактерии) и неодушевените частици (прах) към работния обект. Може да бъде разделен на;
А. Обща биологична чиста стая: главно контролира замърсяването на микробните (бактериални) предмети. В същото време неговите вътрешни материали трябва да могат да издържат на ерозията на различни стерилизиращи агенти, а интериорът като цяло гарантира положително налягане. По същество вътрешните материали трябва да могат да издържат на различни лечения за стерилизация на индустриално чисто помещение. Примери: Фармацевтична индустрия, болници (операционни зали, стерилни отделения), храна, козметика, производство на продукти на напитки, лаборатории за животни, лаборатории за физически и химически тестове, кръвни станции и др.
Б. Биологична безопасност Чисто помещение: Главно контролира замърсяването на живите частици на работния обект към външния свят и хората. Вътрешното налягане трябва да се поддържа отрицателно с атмосферата. Примери: Бактериология, биология, чисти лаборатории, физическо инженерство (рекомбинантни гени, подготовка на ваксини)
Време за публикация: 07-2025 февруари