Противопожарните съоръжения са важна част от чистото помещение. Важността му е не само защото неговото технологично оборудване и строителни проекти са скъпи, но и защото чистите помещения са относително затворени сгради, а някои дори са работилници без прозорци. Пасажите в чистата стая са тесни и криволичещи, което затруднява евакуацията на персонала и преподаването на огън. За да се гарантира безопасността на живота и имуществото на хората, в проекта трябва да се приложи политиката за противопожарна защита на „първо превенция, комбинираща превенция и пожар“. В допълнение към предприемането на ефективни мерки за предотвратяване на пожар при проектирането на чистата стая, освен това се създават и необходимите противопожарни съоръжения. Производствените характеристики на чистите стаи са:
(1) Има много прецизно оборудване и инструменти и се използват различни запалими, експлозивни, корозивни и токсични газове и течности. Опасността от пожар на някои производствени части принадлежи към категория C (като окислителна дифузия, фотолитография, йонна имплантация, печат и опаковане и др.), а някои принадлежи към категория A (като издърпване на единични кристали, епитаксия, химическо отлагане на пари и др. .).
(2) Чистата стая е силно херметична. След като избухне пожар, ще бъде трудно да евакуирате персонала и да потушите пожара.
(3) Разходите за изграждане на чиста стая са високи, а оборудването и инструментите са скъпи. След като избухне пожар, икономическите загуби ще бъдат огромни.
Въз основа на горните характеристики чистите помещения имат много високи изисквания за противопожарна защита. В допълнение към системата за противопожарна защита и водоснабдяване трябва да се монтират и стационарни пожарогасителни устройства, особено ценното оборудване и инструменти в чиста стая трябва да бъдат внимателно определени.
Време на публикуване: 11 април 2024 г