Противопожарните съоръжения са важна част от чистите помещения. Значението им се дължи не само на скъпото технологично оборудване и строителните проекти, но и на факта, че чистите помещения са сравнително затворени сгради, а някои дори са работилници без прозорци. Проходите в чистите помещения са тесни и криволичещи, което затруднява евакуацията на персонала и обучението по пожарна безопасност. За да се гарантира безопасността на живота и имуществото на хората, при проектирането трябва да се приложи политиката за противопожарна защита „превенция на първо място, комбиниране на превенция и пожар“. В допълнение към предприемането на ефективни мерки за предотвратяване на пожари при проектирането на чистите помещения, се осигуряват и необходимите противопожарни съоръжения. Производствените характеристики на чистите помещения са:
(1) Съществува много прецизно оборудване и инструменти, като се използват различни запалими, експлозивни, корозивни и токсични газове и течности. Пожарната опасност на някои производствени части принадлежи към категория C (като окислително-дифузионна обработка, фотолитография, йонна имплантация, печат и опаковане и др.), а някои - към категория A (като издърпване на монокристали, епитаксия, химическо отлагане на пари и др.).
(2) Чистото помещение е силно херметично. След като избухне пожар, ще бъде трудно да се евакуира персоналът и да се потуши огънят.
(3) Цената на изграждането на чисти помещения е висока, а оборудването и инструментите са скъпи. След като избухне пожар, икономическите загуби ще бъдат огромни.
Въз основа на горепосочените характеристики, чистите помещения имат много високи изисквания за противопожарна защита. В допълнение към противопожарната система и системата за водоснабдяване, трябва да се инсталират и стационарни пожарогасителни устройства, като особено ценното оборудване и инструменти в чистите помещения трябва да бъдат внимателно определени.
Време на публикуване: 11 април 2024 г.