Степента на добив на чип в производствената индустрия на IC е тясно свързана с размера и броя на въздушните частици, депозирани върху чипа. Една добра организация на въздушния поток може да отнеме частиците, генерирани от източника на прах далеч от чистата стая, за да се гарантира чистотата на чистата стая, тоест организацията на въздушния поток в чиста стая играе жизненоважна роля в скоростта на добив на производството на ИК. Дизайнът на организацията на въздушния поток в чиста стая трябва да постигне следните цели: Намаляване или премахване на вихровия ток в полето на потока, за да се избегне задържането на вредни частици; Поддържайте подходящ градиент на положително налягане, за да предотвратите кръстосано замърсяване.
Сила на въздушния поток
Според принципа на чистата стая, силите, действащи върху частиците, включват масова сила, молекулна сила, привличане между частици, сила на въздушния поток и др.
Сила на въздушния поток: Отнася се до силата на въздушния поток, причинена от доставката, връщане на въздушния поток, въздушния поток от термичен конвекция, изкуственото разбъркване и други въздушни потоци с определен дебит за пренасяне на частиците. За техническия контрол на средата на чистата стая силата на въздушния поток е най -важният фактор.
Експериментите показват, че при движението на въздушния поток частиците следват движението на въздушния поток с почти същата скорост. Състоянието на частиците във въздуха се определя от разпределението на въздушния поток. Въздушните потоци, които засягат частиците на закрито, включват главно: въздушен поток за доставка на въздух (включително първичен въздушен поток и вторичен въздушен поток), въздушен поток и въздушен поток от термичен конвекция, причинени от хора, които се разхождат, и въздушния поток, причинен от работата на процеса и индустриалното оборудване. Различните методи за доставка на въздух, скоростните интерфейси, операторите и индустриалното оборудване и индуцираните явления в чисти помещения са всички фактори, влияещи върху нивото на чистота.
Фактори, влияещи върху организацията на въздушния поток
1. Влиянието на метода на подаване на въздух
(1). Скорост на подаване на въздух
За да се осигури равномерен въздушен поток, скоростта на подаване на въздух трябва да бъде равномерна в еднопосочно чисто помещение; Мъртвата зона на повърхността за подаване на въздух трябва да е малка; и спадът на налягането в ULPA също трябва да бъде равномерен.
Еднообразна скорост на подаване на въздух: тоест неравномерността на въздушния поток се контролира в рамките на ± 20%.
По -малко мъртва зона на повърхността за подаване на въздух: Не само, че площта на равнината на ULPA трябва да бъде намалена, но по -важното е, че трябва да се приеме модулен FFU, за да се опрости излишната рамка.
За да се осигури вертикален еднопосочен въздушен поток, изборът на спад на налягането на филтъра също е много важен, което изисква загубата на налягане във филтъра да не може да се отклони.
(2). Сравнение между системата FFU и вентилатора на аксиалния поток
FFU е устройство за захранване на въздух с вентилатор и филтър (ULPA). След като въздухът се засмуква от центробежния вентилатор на FFU, динамичното налягане се превръща в статично налягане във въздушния канал и се издухва равномерно от ULPA. Налягането на захранване на въздуха върху тавана е отрицателно налягане, така че да не изтича прах в чистата стая, когато филтърът е заменен. Експериментите показват, че FFU системата е по -добра от системата на вентилатора на аксиалния поток по отношение на равномерността на изхода на въздуха, паралелизма на въздушния поток и индекса на ефективността на вентилацията. Това е така, защото паралелизмът на въздушния поток на FFU системата е по -добър. Използването на FFU системата може да направи въздушния поток в чистата стая по -добре организирано.
(3). Влиянието на собствената структура на FFU
FFU се състои главно от вентилатори, филтри, устройства за водач на въздушен поток и други компоненти. Филтърът за ултрависока ефективност ULPA е най-важната гаранция за това дали чистото помещение може да постигне необходимата чистота на дизайна. Материалът на филтъра също ще повлияе на равномерността на полето на потока. Когато към изхода на филтъра се добави груб филтър или ламинарна плоча на потока, полето на изхода може лесно да се направи равномерно.
2. Влияние на различни скоростни интерфейси на чистота
В същото чисто помещение между работната зона и неработещата зона на вертикален еднопосочен поток, поради разликата в скоростта на въздуха в изхода на ULPA, на интерфейса ще се генерира смесен вихър ефект на интерфейса и този интерфейс ще се превърне в турбулентен Зона на въздушния поток с особено висока интензивност на турбулентността на въздуха. Частиците могат да се предават на повърхността на оборудването и да замърсят оборудването и вафлите.
3. Въздействие на персонала и оборудването
Когато чистото помещение е празно, характеристиките на въздушния поток в стаята обикновено отговарят на изискванията за проектиране. След като оборудването влезе в чистата стая, преместването на персонала и се предава продукти, неизбежно ще има пречки пред организацията на въздушния поток. Например, при стърчащите ъгли или ръбове на оборудването газът ще бъде отклонен, за да образува турбулентна зона, а течността в зоната не се пренася лесно от газа, като по този начин причинява замърсяване. В същото време повърхността на оборудването ще се загрее поради непрекъсната работа, а температурният градиент ще причини зона на разточване в близост до машината, което ще увеличи натрупването на частици в зоната на профила. В същото време високата температура лесно ще накара частиците да избягат. Двойният ефект влошава трудността при контролирането на общата вертикална ламинарна чистота. Прахът от операторите в чистата стая е много лесен за придържане към вафлите в тези зони на разпадане.
4. Влияние на връщащия въздушен под
Когато съпротивлението на връщания въздух, преминаващ през пода, е различно, ще се генерира разлика в налягането, така че въздухът да тече в посока на по -малко съпротивление и да не се получи равномерен въздушен поток. Настоящият популярен метод на проектиране е да се използват повишени подове. Когато скоростта на отваряне на повишените подове е 10%, скоростта на въздушния поток в работната височина на стаята може да бъде равномерно разпределена. Освен това трябва да се обърне строго внимание на работата по почистване, за да се намали източникът на замърсяване на пода.
5. Феномен на индукция
Така нареченият индукционен феномен се отнася до явлението, че се генерира въздушен поток в обратна посока на равномерния поток и прахът, генериран в помещението или праха в съседната замърсена зона, се индуцира към напредналата страна, така че прах може да замърси чипа. По -долу са възможните индукционни явления:
(1). Сляпа плоча
В чисто помещение с вертикален еднопосочен поток, поради ставите на стената, обикновено има големи слепи плочи, които ще генерират турбулентност в локалния връщащ поток.
(2). Лампи
Осветителните тела в чистата стая ще имат по -голямо въздействие. Тъй като топлината на флуоресцентните лампи води до повишаване на въздушния поток, няма да има турбулентна зона под флуоресцентните лампи. Като цяло лампите в чистата стая са проектирани във форма на сълза, за да се намали въздействието на лампите върху организацията на въздушния поток.
(3.) Пропуски между стените
Когато има пропуски между преградите с различни нива на чистота или между прегради и тавани, прахът от зоната с ниски изисквания за чистота може да бъде прехвърлен в съседната зона с високи изисквания за чистота.
(4). Разстояние между машината и пода или стената
Ако пролуката между машината и пода или стената е много малка, това ще доведе до турбулентност на отскок. Затова оставете празнина между оборудването и стената и повдигнете машината, за да не позволите на машината да докосне земята директно.
Време за публикация: 05-2025 февруари