В допълнение към стриктния контрол на частиците, електронните чисти помещения, представени от цехове за производство на чипове, цехове без прах на интегрални схеми и цехове за производство на дискове, също имат по-строги изисквания за контрол на температурата и влажността, осветеност и микрошок.Строго отстранете въздействието на статичното електричество върху производствените продукти, така че околната среда да може да отговаря на изискванията на производствения процес на електронни продукти в чиста среда.
Температурата и влажността на електронната чиста стая трябва да се определят според изискванията на производствения процес.Когато няма специфични изисквания за производствения процес, температурата може да бъде 20-26°C, а относителната влажност 30%-70%.Температурата на чистата стая за персонала и хола може да бъде 16-28 ℃.Според китайския национален стандарт GB-50073, който е в съответствие с международните стандарти ISO, нивото на чистота на този тип чисти помещения е 1-9.Сред тях, клас 1-5, моделът на въздушния поток е еднопосочен поток или смесен поток;моделът на въздушния поток клас 6 е нееднопосочен поток и смяната на въздуха е 50-60 пъти/ч;тип въздушен поток от клас 7 е нееднопосочен поток, а смяната на въздуха е 15-25 пъти/ч;типът въздушен поток клас 8-9 е нееднопосочен поток, смяната на въздуха е 10-15 пъти/ч.
Според настоящите спецификации, нивото на шума в рамките на клас 10 000 електронни чисти помещения не трябва да бъде по-високо от 65 dB(A).
1. Пълното съотношение на чистата стая с вертикален поток в електронната чиста стая не трябва да бъде по-малко от 60%, а хоризонталната еднопосочна чиста стая на потока не трябва да бъде по-малко от 40%, в противен случай това ще бъде частичен еднопосочен поток.
2. Разликата в статичното налягане между електронната чиста стая и на открито не трябва да бъде по-малка от 10Pa, а разликата в статичното налягане между чисти зони и нечисти зони с различна чистота на въздуха не трябва да бъде по-малка от 5Pa.
3. Количеството свеж въздух в електронна чиста стая клас 10000 трябва да приеме стойността на следните два елемента.
4. Компенсирайте сумата от обема на изходящия вътрешен въздух и обема на пресния въздух, необходими за поддържане на стойността на положителното вътрешно налягане.
5. Уверете се, че количеството свеж въздух, подаван в чистата стая на човек на час, е не по-малко от 40 квадратни метра.
Време на публикуване: 8 април 2024 г