КОНТРОЛ НА ТЕМПЕРАТУРА И ВЪЗДУШНО НАЛЯГАНЕ В ЧИСТАТА СТАЯ

Опазването на околната среда се обръща все повече и повече внимание, особено с увеличаването на времето с мъгла. Инженерингът на чисти помещения е една от мерките за опазване на околната среда. Как да използваме инженерството за чисти помещения, за да свършим добра работа в областта на опазването на околната среда? Нека поговорим за управлението в инженерството на чисти помещения.

Контрол на температурата и влажността в чиста стая

Температурата и влажността на чистите пространства се определят главно въз основа на изискванията на процеса, но когато отговарят на изискванията на процеса, трябва да се вземе предвид комфортът на хората. С подобряването на изискванията за чистота на въздуха има тенденция на по-строги изисквания за температура и влажност в процеса.

Като общ принцип, поради нарастващата прецизност на обработката, изискванията за диапазон на температурни колебания стават все по-малки и по-малки. Например, в процеса на литография и експониране на широкомащабно производство на интегрални схеми, разликата в коефициента на топлинно разширение между стъклени и силициеви пластини, използвани като материали за маска, става все по-малка.

Силиконова пластина с диаметър 100 μm предизвиква линейно разширение от 0,24 μm, когато температурата се повиши с 1 градус. Следователно е необходима постоянна температура от ± 0,1 ℃ и стойността на влажността обикновено е ниска, тъй като след изпотяване продуктът ще бъде замърсен, особено в цеховете за полупроводници, които се страхуват от натрий. Този тип работилница не трябва да надвишава 25 ℃.

Прекомерната влажност причинява повече проблеми. Когато относителната влажност надвиши 55%, ще се образува конденз по стената на тръбата за охлаждаща вода. Ако се появи в прецизни устройства или вериги, може да причини различни аварии. Когато относителната влажност е 50%, лесно ръждясва. Освен това, когато влажността е твърде висока, прахът, полепнал по повърхността на силиконовата пластина, ще бъде химически адсорбиран върху повърхността чрез водни молекули във въздуха, което е трудно за отстраняване.

Колкото по-висока е относителната влажност, толкова по-трудно е да се премахне адхезията. Въпреки това, когато относителната влажност е под 30%, частиците също лесно се адсорбират на повърхността поради действието на електростатична сила и голям брой полупроводникови устройства са склонни към повреда. Оптималният температурен диапазон за производство на силициеви пластини е 35-45%.

Въздушно наляганеконтролв чиста стая 

За повечето чисти пространства, за да се предотврати навлизането на външно замърсяване, е необходимо вътрешното налягане (статично налягане) да се поддържа по-високо от външното налягане (статично налягане). Поддържането на разликата в налягането обикновено трябва да отговаря на следните принципи:

1. Налягането в чистите помещения трябва да е по-високо от това в нечистите помещения.

2. Налягането в помещенията с високи нива на чистота трябва да бъде по-високо от това в съседните пространства с ниски нива на чистота.

3. Вратите между чистите помещения трябва да се отварят към помещения с висока степен на чистота.

Поддържането на разликата в налягането зависи от количеството пресен въздух, което трябва да може да компенсира изтичането на въздух от междината при тази разлика в налягането. Така че физическото значение на разликата в налягането е съпротивлението на изтичане (или проникване) на въздушния поток през различни пролуки в чистата стая.