Опазването на околната среда се разглежда все повече и повече, особено с увеличаването на мъгливото време. Инженерството на чистите помещения е една от мерките за опазване на околната среда. Как да използваме инженерството на чистите помещения, за да свършим добра работа в опазването на околната среда? Нека поговорим за контрола в инженерството на чистите помещения.
Контрол на температурата и влажността в чиста стая
Температурата и влажността на чистите пространства се определят главно въз основа на изискванията на процеса, но при спазване на изискванията на процеса трябва да се вземе предвид човешкият комфорт. С подобряването на изискванията за чистота на въздуха се наблюдава тенденция за по-строги изисквания за температура и влажност в процеса.
Като общ принцип, поради нарастващата прецизност на обработката, изискванията за диапазон на температурни колебания стават все по-малки. Например, в процеса на литография и експониране при производството на интегрални схеми в голям мащаб, разликата в коефициента на топлинно разширение между стъклените и силициевите пластини, използвани като материали за маски, става все по-малка.
Силициева пластина с диаметър 100 μm причинява линейно разширение от 0,24 μm, когато температурата се повиши с 1 градус. Следователно е необходима постоянна температура от ± 0,1 ℃, а стойността на влажността обикновено е ниска, тъй като след изпотяване продуктът ще бъде замърсен, особено в цехове за полупроводници, които се страхуват от натрий. Този тип цех не трябва да надвишава 25 ℃.
Прекомерната влажност причинява повече проблеми. Когато относителната влажност надвиши 55%, по стената на тръбите за охлаждаща вода се образува конденз. Ако това се случи в прецизни устройства или схеми, може да причини различни аварии. Когато относителната влажност е 50%, лесно се ръждясва. Освен това, когато влажността е твърде висока, прахът, полепнал по повърхността на силициевата пластина, ще се адсорбира химически върху повърхността чрез водните молекули във въздуха, което е трудно за отстраняване.
Колкото по-висока е относителната влажност, толкова по-трудно е да се премахне адхезията. Когато обаче относителната влажност е под 30%, частиците лесно се адсорбират върху повърхността поради действието на електростатичната сила и голям брой полупроводникови устройства са склонни към повреда. Оптималният температурен диапазон за производство на силициеви пластини е 35-45%.
Въздушно наляганеконтролв чиста стая
За повечето чисти пространства, за да се предотврати навлизането на външно замърсяване, е необходимо да се поддържа вътрешно налягане (статично налягане) по-високо от външното налягане (статично налягане). Поддържането на разликата в налягането обикновено трябва да отговаря на следните принципи:
1. Налягането в чистите пространства трябва да е по-високо от това в нечистите пространства.
2. Налягането в пространства с високи нива на чистота трябва да бъде по-високо от това в съседните пространства с ниски нива на чистота.
3. Вратите между чистите помещения трябва да се отварят към помещения с високи нива на чистота.
Поддържането на разликата в налягането зависи от количеството свеж въздух, което трябва да може да компенсира изтичането на въздух от междината при тази разлика в налягането. Следователно физическото значение на разликата в налягането е съпротивлението на изтичащия (или инфилтрационния) въздушен поток през различни междини в чистото помещение.
Време на публикуване: 21 юли 2023 г.