Контрол на температурата и налягането на въздуха в чистото помещение

Защитата на околната среда се обръща все повече и повече, особено с увеличаването на времето на мъгла. Инженерингът на чисти помещения е една от мерките за опазване на околната среда. Как да използваме инженерството на чисти помещения, за да свършите добра работа в опазването на околната среда? Нека поговорим за контрола в инженерството на чисти помещения.

Контрол на температурата и влажността в чистото помещение

Температурата и влажността на чистите пространства се определят главно въз основа на изискванията на процеса, но когато отговаря на изискванията на процеса, трябва да се вземе предвид човешкият комфорт. С подобряването на изискванията за чистота на въздуха има тенденция на по -строги изисквания за температура и влажност в процеса.

Като общ принцип, поради нарастващата точност на обработката, изискванията за диапазон на колебание на температурата стават все по -малки и по -малки. Например, в процеса на литография и експозиция на мащабно интегрирано производство на вериги, разликата в коефициента на термично разширяване между стъклените и силициевите вафли, използвани като маски материали, става все по-малка.

Силиконовата вафла с диаметър 100 μm причинява линейно разширение от 0,24 μm, когато температурата се повиши с 1 градус. Следователно е необходима постоянна температура от ± 0,1 ℃ и стойността на влажността обикновено е ниска, тъй като след изпотяване продуктът ще бъде замърсен, особено в полупроводникови работилници, които се страхуват от натрий. Този тип работилница не трябва да надвишава 25 ℃.

Прекомерната влажност причинява повече проблеми. Когато относителната влажност надвишава 55%, кондензацията ще се образува върху стената на охлаждащата водна тръба. Ако се появи в прецизни устройства или вериги, това може да причини различни произшествия. Когато относителната влажност е 50%, е лесно да се ръжда. Освен това, когато влажността е твърде висока, прахът, прилепнал към повърхността на силициевата вафла, ще бъде химически адсорбиран върху повърхността чрез водни молекули във въздуха, което е трудно да се отстрани.

Колкото по -висока е относителната влажност, толкова по -трудно е да се отстрани адхезията. Въпреки това, когато относителната влажност е под 30%, частиците също лесно се адсорбират върху повърхността поради действието на електростатичната сила, а голям брой полупроводникови устройства са склонни да разрушат. Оптималният температурен диапазон за производството на силициеви вафли е 35-45%.

Налягане на въздухаконтролв чиста стая 

За повечето чисти пространства, за да се предотврати нахлуването на външното замърсяване, е необходимо да се поддържа вътрешно налягане (статично налягане) по -високо от външното налягане (статично налягане). Поддържането на разликата в налягането обикновено трябва да отговаря на следните принципи:

1. Налягането в чистите пространства трябва да бъде по -високо от това в не чисти пространства.

2. Налягането в пространствата с високи нива на чистота трябва да бъде по -високо от това в съседни пространства с ниски нива на чистота.

3. Вратите между чистите помещения трябва да се отварят към стаи с високи нива на чистота.

Поддържането на разликата в налягането зависи от количеството чист въздух, което трябва да може да компенсира изтичането на въздух от пролуката при тази разлика на налягането. Така че физическото значение на разликата в налягането е съпротивлението на изтичането (или инфилтрацията) въздушен поток през различни пропуски в чистото помещение.