КОНТРОЛ НА ТЕМПЕРАТУРА И ВЪЗДУШНО НАЛЯГАНЕ В ЧИСТАТА СТАЯ

Опазването на околната среда се обръща все повече и повече внимание, особено с увеличаването на времето с мъгла.Инженерингът на чисти стаи е една от мерките за опазване на околната среда.Как да използваме инженерството за чисти помещения, за да свършим добра работа в областта на опазването на околната среда?Нека поговорим за управлението в инженерството на чисти помещения.

Контрол на температурата и влажността в чиста стая

Температурата и влажността на чистите пространства се определят главно въз основа на изискванията на процеса, но когато отговарят на изискванията на процеса, трябва да се вземе предвид комфортът на хората.С подобряването на изискванията за чистота на въздуха има тенденция на по-строги изисквания за температура и влажност в процеса.

Като общ принцип, поради нарастващата прецизност на обработката, изискванията за диапазон на температурни колебания стават все по-малки и по-малки.Например, в процеса на литография и експониране на широкомащабно производство на интегрални схеми, разликата в коефициента на топлинно разширение между стъклени и силициеви пластини, използвани като материали за маска, става все по-малка.

Силиконова пластина с диаметър 100 μm предизвиква линейно разширение от 0,24 μm, когато температурата се повиши с 1 градус.Следователно е необходима постоянна температура от ± 0,1 ℃ и стойността на влажността обикновено е ниска, тъй като след изпотяване продуктът ще бъде замърсен, особено в цеховете за полупроводници, които се страхуват от натрий.Този тип работилница не трябва да надвишава 25 ℃.

Прекомерната влажност причинява повече проблеми.Когато относителната влажност надвиши 55%, ще се образува конденз по стената на тръбата за охлаждаща вода.Ако се появи в прецизни устройства или вериги, може да причини различни аварии.Когато относителната влажност е 50%, лесно ръждясва.Освен това, когато влажността е твърде висока, прахът, полепнал по повърхността на силиконовата пластина, ще бъде химически адсорбиран върху повърхността чрез водни молекули във въздуха, което е трудно за отстраняване.

Колкото по-висока е относителната влажност, толкова по-трудно е да се премахне адхезията.Въпреки това, когато относителната влажност е под 30%, частиците също лесно се адсорбират на повърхността поради действието на електростатична сила и голям брой полупроводникови устройства са склонни към повреда.Оптималният температурен диапазон за производство на силиконова пластина е 35-45%.

Въздушно наляганеконтролв чиста стая 

За повечето чисти пространства, за да се предотврати навлизането на външно замърсяване, е необходимо вътрешното налягане (статично налягане) да се поддържа по-високо от външното налягане (статично налягане).Поддържането на разликата в налягането обикновено трябва да отговаря на следните принципи:

1. Налягането в чистите помещения трябва да е по-високо от това в нечистите помещения.

2. Налягането в помещенията с високи нива на чистота трябва да бъде по-високо от това в съседните пространства с ниски нива на чистота.

3. Вратите между чистите стаи трябва да се отварят към стаи с високи нива на чистота.

Поддържането на разликата в налягането зависи от количеството пресен въздух, което трябва да може да компенсира изтичането на въздух от междината при тази разлика в налягането.Така че физическото значение на разликата в налягането е съпротивлението на изтичане (или проникване) на въздушния поток през различни пролуки в чистата стая.